KLA Filmetrics R50系列四探针电阻测试仪，方块电阻测试仪可对金属层厚度、薄膜电阻、薄膜电阻率、薄膜电导和薄膜电导率进行测绘。R54是方块电阻测量...

KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪为生产和研发环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维...

KLA iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试...

KLA Candela® 8720表面缺陷检测系统先进的集成式表面和光致发光(PL)缺陷检测系统可以捕获各种关键衬底和外延缺陷。采用统计制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷检测系统第二代集成式光致发光和表面检测系统，设计用于对碳化硅和氮化镓衬底上的外延缺陷进行高级表征。采用统计制...

KLA Candela® 8420表面缺陷检测系统它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、...

KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪采用自动化R-Theta平台，支持标准和定制化样品夹盘，最大样品直径达450毫米，能高效测绘薄膜厚度。该设备适...

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力...

KLA Tencor® P-17探针式轮廓仪为生产和研发环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维...

半导体薄膜生长表面检测KLA Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2...

KLA Filmetrics F40薄膜厚度测量仪通过将显微镜转变为薄膜测量工具，实现小至1微米光斑的厚度和折射率测量。该设备配备集成彩色摄像机，可在1秒内完成...

KLA Filmetrics F30薄膜厚度测量仪通过实时监控沉积过程，提供高精度、快速且非侵入式的测量解决方案，适用于多种半导体和电介质材料。其主要特点包括提...

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪系列，涵盖近红外光波长范围980 nm、1310 nm及1550 nm，能够测量从15纳米至3毫米的薄膜厚...

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度测量系统专为微小视野及样品设计，支持快速、简易的厚度测量，适用于聚对二甲苯和真空镀膜层等。其具备自动校正功能，可...

KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度测量仪通过同时测量反射和透射光谱，实现真空镀膜的快速、精确分析。该设备价格合理，具备分析、FWHM确定及颜色分...

KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度测量仪是一款专为测量单层和多层硬涂层设计的仪器，基于F20平台，采用光谱反射分析技术，提供快速准确的测量结果。...

KLA Filmetrics F20台式薄膜厚度测量系统;经济实惠的膜厚仪系列在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和...

KLA Filmetrics F10-ARc薄膜厚度测量仪便携式反射仪带有内部光纤，利用具有长寿命、低功率光源可以测量曲面上的减反射涂层厚度。以极低的价格在几秒...

KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度测量仪便携式反射仪带有内部光纤，利用具有长寿命、低功率光源可以测量曲面上的减反射涂层厚度。以极低的价格在几秒钟...

KLA NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚...