薄膜厚度测量仪 返回列表页

自动化薄膜测绘

KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的内容：

• 集成光谱仪/光源装置

• 光纤电缆

• 4", 6" and 200mm 参考晶圆

• TS-SiO2-4-7200 厚度标准

• BK7 参考材料

• 整平滤波器 (用于高反射基板)

• 真空泵

• 备用灯

型号规格