4200A-SCS 半导体测试仪系统定制全功能集成参数分析仪

Keithley 4200A-SCS半导体测试仪系统

本公司7月15日13点49分报道：Keithley 4200A-SCS半导体测试仪系统可定制的全功能集成参数分析仪@技术新闻

产品描述

4200A-SCS是一款可定制的全功能集成参数分析仪，提供对电流-电压（I-V）、电容-电压（C-V）和超快速脉冲I-V特性的同步洞察。作为性能高的参数分析仪，4200A-SCS加速半导体、材料和工艺开发。4200A-SCS Clarius基于GUI的软件提供清晰、无折扣的测量和分析能力。配备嵌入式测量专业知识和数百个现成的应用测试，Clarius软件使您能够以速度和信心深入研究。4200A-SCS参数分析仪可定制且可升级，因此您可以在此刻或之后添加所需的仪器。使用4200A-SCS半导体测试仪系统 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 业内先性能参数分析仪，提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。

关键性能规格

I-V 源测量单元 (SMUs)

→±210 V/100 mA 或 ±210 V/1 A 模块

→100 fA 测量分辨率

→选配前置放大器可实现10 aA 测量分辨率

→10 mHz – 10 Hz 超低频电容测量

→100 μF 负载电容

→四象限操作

→2 或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVUs)

→交流阻抗测量(C-V, C-f, C-t)

→1 kHz – 10 MHz 频率范围

→±30 V（60 V 差分）内置直流偏置，可扩展至 ±210 V（420 V 差分）

→可选的CVIV 多开关便捷地在 I-V 和 C-V 测量之间切换

脉冲I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

→两个独立或同步通道的高速脉冲I-V 源和测量

→200 MS/s，5 ns 采样率

→±40 V (80 Vp-p)，±800 mA

→瞬态波形捕获模式

→10 ns 可编程分辨率的多级脉冲波形任意波形发生器

高压脉冲发生器单元 (PGU)

→两个通道的高速脉冲V 源

→±40 V (80 Vp-p)，±800 mA

→10 ns 可编程分辨率的多级脉冲波形任意波形发生器

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

→在不重新接线或抬起探针针头的情况下轻松切换I-V 和 C-V 测量

→可将C-V 测量移至任何终端，无需重新接线或抬起探针针头

→±210 V 直流偏置能力

远程前置放大器/开关模块 (RPM)

→自动在I-V、C-V 和超快速脉冲 I-V 测量之间切换

→将4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

→减少电缆电容效应

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