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Ky开元集团>产品展厅>化工机械设备>塑料工业专用设备>薄膜> YCL-13薄膜测厚仪

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YCL-13薄膜测厚仪

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高校物理实验仪器,光谱应用分析仪器

此款薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理研发而成,本仪器可提供非接触测量薄膜厚度,折射率, 吸收系数等,采用软件版本,具有纳米级精确测量和方便使用等优点;测量方便度和准确度好于常用的光学椭偏仪。是镀膜研究、光学镀膜和半导体生产的测量研究仪器。

实验原理和内容:

 

 

主要配置及参数:

厚度范围

20nm-50nm,只测膜厚;100nm-10μm同时测量膜厚和光学常数

准确度

小于1nm或小于0.5%

重复性

0.1nm

波长范围

380nm-1000nm

可测层数

1-4层

样品尺寸

镀膜区直径大于1.2mm

测量速度

5s-60s

光斑直径

1.2mm-10mm可调



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