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Ky开元集团>产品展厅>化工机械设备>塑料工业专用设备>薄膜> YCL-13薄膜测厚仪
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高校物理实验仪器,光谱应用分析仪器
此款薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理研发而成,本仪器可提供非接触测量薄膜厚度,折射率, 吸收系数等,采用软件版本,具有纳米级精确测量和方便使用等优点;测量方便度和准确度好于常用的光学椭偏仪。是镀膜研究、光学镀膜和半导体生产的测量研究仪器。
厚度范围
20nm-50nm,只测膜厚;100nm-10μm同时测量膜厚和光学常数
准确度
小于1nm或小于0.5%
重复性
0.1nm
波长范围
380nm-1000nm
可测层数
1-4层
样品尺寸
镀膜区直径大于1.2mm
测量速度
5s-60s
光斑直径
1.2mm-10mm可调
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