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Ky开元集团>产品展厅>测量/计量仪器>其它测量/计量仪器>测振仪> YCL-4A椭圆偏振测厚仪
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高校物理实验仪器，光谱应用分析仪器
手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率，手动调节测试过程中的起偏和检偏角度，椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量；在己有测定薄膜厚度的方法中，它是能测量到和精度的一类。
测量范围
1nm-300nm
测量最小值
≤1nm
入射角
30°-90°误差小于等于0.1°
读数范围
0°-180°
工作台直径
70mm
中心高度
152mm
度盘刻度
每格2°
最小读数
0.05°
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