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YCL-5A自动椭圆偏振测厚仪

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高校物理实验仪器,光谱应用分析仪器

此椭圆偏振测厚仪采用消光式椭圆偏振方式处理,具有精度高、自动控制;光源采用氦氖激光,波长精度高,仪器采用USB 接口与电脑连接,配套软件对采样数据具有多种处理方式,适用于不同需要,软件设计合理,适用于此类实验要求,使用方便,操作简单。

实验原理和内容:

 

 

主要配置及参数:

测量范围

1nm-4000nm

测量最小值

小于等于1nm

镀膜折射率范围

1.300-10.000

入射角

40°-90°

方位角读数范围

0°-180°

测量精度

+5nm

厚度

小于等于10mm



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