膜厚测试千里眼，选区观测1µm - 市面上的高分辨率显微成像椭偏技术

有别于传统椭偏仪，这是新一代的显微成像椭偏仪技术，它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术，使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征薄膜厚度和折射率。显微镜部分能够同时测量光学系统全视场范围内的所有结构。

传统的椭偏仪注重于测量整个光斑，而不能实现高精度的横向分辨率，并且需要逐点测量。该设备的显微镜功能使得我们能够获得微观结构的椭偏增强对比图像，在相机的实时图像中可以看到折射率或厚度的微小变化。允许识别椭偏测量的感兴趣区域（选区测量），以获得厚度（0.1 nm-10µm）和折射率的值。

您可以将该仪器与原??显微镜（AFM）、?英晶体微天（QCM-D）、反射光谱仪、拉曼光谱仪等其他技术相结合，从?从您的样品中获得更多信息。

它是模块化仪器，可根据您的应??向进?差异化配置。该仪器配备标准激光，可以?作布鲁斯特?显微镜，通常?于?组装单分?层LB膜的研究。

√ 市面上最高横向椭偏分辨率的椭偏仪：可以分辨1µm的微小区域，这一特性能够实现微结构试样和微小试样的椭偏分析。

√ 实时椭偏对比度图像提供了样品表面、各种缺陷或结构的快速图像分析。

√ 选区分析技术实现区域化(ROI)的偏成像分析。平行分析技术实现多个区域同步分析。

√ 190nm至1700nm波长范围的光谱显微偏仪，可在较宽的波长范围内提供样品的显微椭偏分析。

√ 可见光波长范围可选的全画幅聚焦技术(UltraObiective)，适用于动态样品，如自组装单分子层的生长和移动、蛋白质相互作用和水面单分子层的漂移测量等等。

√ 光斑切割技术，真正实现超薄透明基底上薄膜的无背底反射椭偏测试。

√ 多种功能拓展附件实现显微椭偏技术在不同应用领域内的多种实用功能，如表面等离子共振(SPR)、固/液界面分析单元、光导液/液界面分析单元、微流控分析单元、温度控制单元和电化学分析单元等等。

√ 显微椭偏分析集成平台，实现多种测量技术的联用，以便从您的样品中获得更多的信息。

椭偏技术通过测量经过薄膜反射光束的偏振状态的变化，分析并获取被测薄膜的性质参数，获得的参数值(如薄膜厚度)甚至比探测光的波长还要小。

薄膜的性质(如薄膜厚度，折射率和吸收系数等)与反射光束p分量和s分量的振幅和相位的变化相关。随着仪器偏振元器件的旋转，椭偏仪分析测量反射光束的振幅和相位的变化，测量数据即为椭偏Psi和Delta参数值。将这些数值输入计算机，并通过模拟软件进行建模分析，最终得到诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等薄膜性质参数。其他薄膜性质如膜层结构、晶体性质、化学成分或导电性质等可通过进一步分析获取。椭偏法已成为测量多层薄膜厚度、折射率和吸收系数的标准测试方法。

显微椭偏技术有机地结合了消光椭偏技术和传统的显微镜技术，结合显微镜技术让您能对被测样品进行可视化实时图像椭偏分析，横向(X/Y方向)分辨率超过1µm。

显微椭偏技术的最小测试微区是传统微光斑椭偏法的千分之一还要小，可实现非均匀薄膜试样的区域化椭偏分析。选区分析技术实现区域化的椭偏分析测试。平行化分析技术让您对多个区域进行同步分析。通过实时视频图像分析，显微椭偏技术可以实现许多原位的表界面分析应用。例如，显微椭偏技术适用于样品横向结构尺寸在1 um-50 mm范围内的薄膜表界面分析：图案化的微小样品和微悬臂梁传感器上的薄膜。采用最新的光斑切割技术可实现透明基底上薄膜的无背底反射干扰的椭偏测试。

非显微椭偏仪的横向分辨率由照射在样品表面的光斑直径决定。光斑直径从35um到2mm不等。检测系统探测整个反射光束的椭偏状态，对光斑范围内的所有结构进行平均化椭偏分析。所有微结构小于该尺寸的样品都不能准确地检测分析。如果您的样品不是均一的薄膜，平均化分析测试将会得出错误的数据。

显微椭偏技术通过高数值孔径的物镜对样品成像，在高分辨率二维像素检测器阵列上实现百万像素的成像。它提供了小至1微米的分辨率，具体分辨率和波长相关。

该设备配备模块化软件。独立的软件模块简化了仪器操作，并实现仪器的远程控制测量、数据获取和并行或离线的数据分析。

设备Control仪器操控软件管理操作显微偏仪设备系统的运行。

它是一种交互式且易于使用的控制软件和自动化工具。

Server软件管理记录显微椭偏仪设备测量过程中的所有设置和数据，包括来自各种附件和联用系统的参数设置和数据等。这是一个先进的数据存储和分析模块，方便深入分析测量各种复杂样品。

√ 管理并存储所有相关的参数和数据，包括各种附件和联?系统的参数和测量数据。

√构建管理的数据存储结构（易于使?的??结构）。

√ 包括图像处理功能：背景校正（?动）、?平衡校正、?何校正、信号跟踪（整体亮度校正）、默认测试存储以及更多功能。

√ 操作仪器（移动部件的控制、拍摄图像、执?测量、过程?动化…… ）

√  处理所有数据（图像、测量结果、动?学测试、结构描述等）。

√  独?于仪器，实现离线数据分析处理。

√  特殊功能（示例）：

  1、批量处理：计算椭偏数据Delta/Psi并?动转化成厚度分布图（逐个像素点分析），?动背底校正。

  2、所有图像、测量数据和参数信息实时连续存储。

√  使??量?散函数分析和拟合测量数据。

√  复杂薄膜系统的建模，以及?所选模型拟合测量数据。

√  模拟拟合以遵循模型中任何参数的效果。

√ 各向异性材料的折射率（单轴、双轴）和光轴?向的建模（基于归?化穆勒矩阵的11个元素）。

显微椭偏仪，您可以选择针对您的测量需求优化的配置。