微透镜加工技术与三维形貌测量分析
一、微透镜主流加工技术
1、光刻与刻蚀法
通过光刻工艺将透镜图案转移至衬底材料,凭借亚微米级加工精度,适用于大规模微透镜阵列的批量制造。
2、模压成型法
先加工高精度模具,再通过注塑或热压成型工艺,实现微透镜阵列的高效复制,具备工艺稳定性强的特点。
3、双光子聚合技术
利用飞秒激光在光敏材料中逐层固化,直接构建三维微透镜结构,可实现纳米级精度的复杂形貌加工。
4、热回流法
通过光刻胶曝光显影形成柱状阵列结构,加热至材料玻璃态转变温度以上使其软化,借助表面张力作用收缩成微透镜阵列。
二、Sensofar 微透镜三维形貌测量方案及优势
Sensofar 在微透镜表面形貌测量领域展现出技术*先性,其核心方案基于共聚焦、白光干涉与 AI 多焦面叠加技术的融合,实现了对微透镜三维形貌的高精度表征。具体优势包括:
1、融合干涉技术:结合传统白光干涉与融合干涉成像技术,可获取高分辨率的表面形貌图像,有效提升测量精度与稳定性。
传统白光干涉

融合干涉成像技术
2、自动化分析能力:
SensoPRO 软件:搭载可扩展的插件式数据分析算法,支持灵活的自动化分析流程,为微透镜加工质量控制提供量化数据支撑(如曲率半径、表面粗糙度等参数)。

SensoSCAN 软件:集成自动化测量模块,通过标准化流程缩短测量周期,实现快速、精准的数据采集,满足工业级生产中的高效检测需求。

Sensofar 的技术组合兼顾了测量精度(纳米级)与检测效率,可全面适配微透镜行业对复杂结构形貌的高精度表征需求,助力提升加工工艺的可控性与成品率。
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