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当前位置:阿斯塔克成套设备(上海)有限公司>>高精密伺服模组>> HAF11A-30/50/100-4221配套传动模组
应用领域 | 化工,石油,电子/电池,电气,综合 |
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阿斯塔克半导体行业配套传动模组是专为半导体制造及相关精密设备设计的传动解决方案,集成了高精度减速机、精密电机、传感器及控制系统,能够实现微米级甚至纳米级的运动控制精度,满足半导体工艺对设备稳定性和精度的严苛要求。采用谐波减速机、行星减速机等精密传动机构,结合高分辨率编码器,实现±1μm以内的重复定位精度,确保半导体设备在晶圆加工、检测等环节的精准操作。
阿斯塔克半导体行业配套传动模组特点:
薄型、小巧
实现了机械、装置小型化、构造简单化。
内置刚性性能优异的支撑装置
用途:
半导体制造设备 : 搬运机器人、检查平台
液晶制造设备 : 搬运机器人、检查平台
光产业相关装置
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