蔡司双束电镜 Crossbeam 550 Samplefab

[产品简介]

蔡司双束电镜 Crossbeam 550 Samplefab，作为一款专为半导体行业TEM样品制备开发的聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），提供优异的灵活性、自动化功能和用户友好设计，帮助半导体行业的样品制备更加简便高效。

[产品特点]

l  行业标准软件界面

l  优化配置提升设备和软件稳定性

l  全自动TEM样品制备体验

l  原位（in-situ, lift-out）与非原位（ex-situ, pick-up）灵活可用

l  高质量的自动与手动制样

[应用领域]

电子和半导体行业，失效分析及TEM样品制备。

【应用案例】

分别使用全自动非原位（ex-situ, pick-up）与原位（in-situ, lift-out）制样的 TEM 薄片样品

手动最终减薄的 7nm 工艺处理器，平面 TEM 薄片

使用 Crossbeam 内 STEM 探测器拍摄