Kleindiek纳米探针台是基于SEM/FIB的材料，半导体器件的电学性能表征系统。纳米级微操纵器和相关的探针软硬件模块组合提供多功能的纳米探测的解决方案，用于半导体器件故障分析和稳定微弱电流的测量。

Kleindiek微纳米操纵仪是安装在扫描电子显微镜内用于实现微纳米材料/器件的操纵或是实现对于纳米材料/器件的电流测量及材料机械性能的测试（选配插件 FMS-EM） 。

微纳米操纵仪， 在 SEM 电镜样品室内像一只或多只灵活的"手“。 主要功能包括：

（1） 在SEM 电镜观察过程中样品的原位操纵， 搬移等；

（2） 在双束离子刻蚀系统中通过操纵仪和微镊子（选配插件 MGS2-EM） 提取双束系统制备的 TEM 薄片样品；

（3） 通过选配EBIC 放大器， 对样品做 EBIC/EBAC/RCI 等成像， 实现微纳米材料/器件的 PN 结观测， 电阻变化定位， IC 开路探测， 失效分析等功能。

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