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瑞士VAT高压摆式隔离阀16.2系列

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  • 上海茂硕机械设备有限公司
  • 2025-07-17 14:17:40
  • 上海市
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【简单介绍】

品牌 其他品牌 应用领域 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合
瑞士VAT高压摆式隔离阀16.2系列
产品概述
型号系列:VAT 16.2

阀门类型:高压摆式隔离阀(Swing Gate Valve)

设计特点:

90°摆臂式启闭机构,比传统闸阀节省50%空间

双密封系统(主密封+应急密封)

适用于高压差(≤20 bar)与高真空(10?? mbar)交叉工况

【详细说明】

瑞士VAT高压摆式隔离阀16.2系列

1. 产品概述

  • 型号系列:VAT 16.2

  • 阀门类型:高压摆式隔离阀(Swing Gate Valve)

  • 设计特点

    • 90°摆臂式启闭机构,比传统闸阀节省50%空间

    • 双密封系统(主密封+应急密封)

    • 适用于高压差(≤20 bar)与高真空(10?? mbar)交叉工况

2. 关键性能参数

参数技术指标
压力范围超高真空(10?? mbar)~ 20 bar(绝压)
温度范围-30°C ~ +150°C(标准)/ +250°C(高温版)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金属密封)
阀体材质316L不锈钢(可选哈氏合金C-276)
密封材质全金属密封(金/铜)或氟橡胶(FKM)
驱动方式气动(标准)/ 电动(可选步进电机)
响应时间<1秒(DN100口径)
法兰标准ISO-KF/CF/DN,ANSI 150#~300#

3. 核心技术优势

① 摆臂设计

  • 采用VAT的"Soft-Touch"技术,减少颗粒产生(<5 particles/cm? @0.3μm)

  • 比传统闸阀磨损降低70%(寿命>500,000次循环)

② 双冗余密封系统

  • 主密封:金属密封(标准工况)

  • 应急密封:可快速激活的弹性体密封(突发压力波动时自动触发)

③ 智能诊断接口

  • 集成阀位传感器(精度±0.1°)

  • 支持预测性维护(通过振动/温度监测密封状态)

4. 行业应用案例

行业典型应用定制要求
半导体刻蚀机腔室隔离Al?O?镀层,耐Cl?腐蚀
能源聚变装置真空隔离无磁化设计(钛合金组件)
化工高压反应釜进料控制哈氏合金阀体,耐酸碱
科研同步辐射光束线超高真空兼容(烘烤至250°C)

5. 选型指南

型号示例DN口径压力等级密封类型适用场景
VAT 16.2-100-MDN10010 bar金属密封半导体设备
VAT 16.2-150-HDN15020 bar哈氏合金密封化工高压反应
VAT 16.2-80-XHVDN80真空专用双金属密封EUV光刻机

6. 安装与维护

安装规范

  1. 需使用扭矩扳手(法兰螺栓扭矩见下表)

  2. 使用前进行3次压力循环测试(0~20 bar)

法兰标准螺栓扭矩(Nm)紧固顺序
DN100 ISO-KF12~15十字交叉法
4" ANSI 150#60~75星型渐进式

维护计划

  • 每月:检查摆臂枢轴润滑状态

  • 每6个月:氦质谱检漏测试

  • 每5年:更换主密封组件(原厂维修包)

  • 交期参考

    • 标准型号:8~12周

    • 定制型号:14~18周

认证与标准

  • 通过SEMI F47(电压暂降免疫)

  • 符合ASME BPE-2019生物工艺标准

  • CE/PED 2014/68/EU认证

  • ISO 15848-1低泄漏认证

  • 商品编号16248-PH41商品编号16250-TA21商品编号16254-PA48商品编号16246-JA21

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