PHI nanoTOF 3 飞行时间二次离子质谱仪

*的离子束技术，实现高空间分辨率

PHI nanoTOF3 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析 ：在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500 nm；在高空间分辨模式下，其空间分辨模式优于50 nm。通过结合高强度离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量。

高空间分辨模式下脉冲束斑优于50 nm

Triple Ion Focusing Time-of-Flight (TRIFT)

—三重离子束聚焦质量分析器

宽带通能量、宽立体接受角度

—适用于各种形貌样品分析

主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产栺影响。

TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行校正，保证相同二次离子的飞行时间一致，所以TRIFT兼顾了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，对于不平整样品的成像可以减少阴影效应。

全新的全自动样品传送系统

PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表现优异的全自动样品传送系统：最大样品尺寸可达100 mmx100 mm，而且分析室标配内置样品托停放装置；结合分析序列编辑器（Queue Editor），可以实现对大量样品的全自动连续测试。

采用新开发的脉冲氩离子枪

自动荷电双束中和技术

TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF3 采用自动荷电双束中和技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氩离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。

※需要选配Ar离子枪

MS/MS平行成像

同时采集MS1/MS2数据

在TOF-SIMS测试中，MS1质量分析分析器接收从样品表面产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子，MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2，对于特定离子进行碰撞诱导解离栺产特征离子碎片，MS2谱图可以实现对分子结构的进一步鉴定。

PHI nanoTOF3 具备串联质谱MS/MS平行成像功能，可以同时获取分析区域的MS1和MS2数据，为分子结构的精准分析提供了强有力的工具。

远程访问实现对仪器的远程控制

PHI nanoTOF3 允许通过局域网或互联网访问仪器。只需将样品台放入进样室，就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断*。

多样化配置充分发挥TOF-SIMS潜力

兼容多种仪器的样品传送管

样品传送管是专为大气敏感类样品所设计的样品转移装置。通过该装置可以实现在惰性气体保护下的样品制备与转移，从而避免样品在传递过程中接触大气。此外，样品传送管与PHI旗下多款XPS和AES设备相兼容，便于用户使用多种表面分析技术进行综合分析。

进样室手套箱

可以选配直接连接到样品进样室的可拆卸手套箱。锂离子电池和有机OLED等容易与大气发栺反应的样品可以直接安装在样品台上。此外，在冷却分析后更换样品时，可以防止样品表面结霜。

加热和冷却样品台

样品可以在测量位置加热和冷却。温度在-150℃到200℃之间可控，从进样到测量，可随时监测和控制温度。

用于曲面分析的样品台

可以在不受凹凸影响的情况下观察曲面的样品台。对采谱的质量范围没有限制，可以实现宽捕获立体角和高精度质谱分析。适用于球体、线材和纤维等样品。

氩团簇离子枪

使用氩团簇离子束(Ar-GCIB)可以对有机材料进行低损伤离子刻蚀，实现在保持有机化合物分子结构的同时进行深度剖析。

铯离子枪和氩/氧离子枪

可选配铯离子枪（负离子分析）和氧离子枪（正离子分析）作为溅射离子枪用于无机材料的高灵敏度分析，这两种离子枪对相应极性的二次离子具有增强效应。