旋转鼓式parylene派瑞林真空镀膜设备,采用旋转滚筒设计,专用于实现聚对二甲苯的均匀涂布。设备结构紧凑,集成内置泵与冷却装置,适用于处理尺寸较小的基材。
Parylene派瑞林真空镀膜设备广泛应用于多个行业,包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS 提供多样化的定制化实验室涂布设备,配备多种可选装置与附加组件,旨在确保涂层工艺的成功实施、表面洁净度以及涂层的均匀性和平滑性。我们的绝大多数系统均具备以下功能配置:
- 可定制腔体尺寸
- 支持选配等离子体源
- 配备冷却系统及集成泵系统
旋转鼓式parylene派瑞林真空镀膜设备Series 2000
尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
重量 | 200kg |
腔体容量 | 80L |
工艺腔体 | 400mm ? ,H: 600mm |
气路 | 1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。 |
冷却系统 | 4L(机电式冷阱) |
真空连接 | DIN 40 ISO-KF |
排气 | 电磁式排气阀 |
真空泵 | 抽速50m?/h |
电气连接 | 三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型,也有适用于工业量产领域的工业机型。同时,我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源,实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理,从而提高薄膜的粘附性。另外,我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计,在小占地面积下提供高性能技术,节约大量的超净间占地空间。
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