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Labcoater Series 300 Parylene派瑞林镀膜机

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 那诺中国有限公司
  • 品牌
  • 型号 Labcoater Series 300
  • 产地
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2025/7/4 16:29:49
  • 访问次数 114

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那诺中国有限公司专注于为大中华区域(包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾)的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。


那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备(包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等)。


那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪,包含飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、质子转移反应(PTR)质谱仪、电子轰击电离(EI)质谱仪等。





ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,晶圆清洗机,PA-MOCVD,飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)

Parylenen派瑞林镀膜机是一款多功能设备,专为实验室应用优化设计,配备内置等离子体源,可用于材料表面预处理。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Parylene派瑞林镀膜机


该型号的Parylenen派瑞林镀膜机具有以下特点:

1、Labcoater Series 300 既适用于科研实验室,也可用于生产环境;

2、特别针对中小型企业和研发团队的需求进行功能优化;

3、通过配置多种可选组件,进一步提升设备的适用性与灵活性,其工艺腔室容积可根据需求调整,最小容积可达 251 L;

4、设备标准配置包含等离子体处理模块;

5、提供洁净室专用版本供选择;

6、可根据实际需要,在四种不同腔体容积中进行选型。


Labcoater Series 300 派瑞林真空镀膜设备:

尺寸
L:1220mm  W:1050mm  H:1920mm
重量110kg
腔体容量25/35/40/80L
工艺腔体

300mm ?,H: 300mm (25 Liter)

300mm ?,H: 350mm (35 Liter)

450mm ?,H: 500mm (80 Liter

等离子源
2.45GHz,600 W
气路
1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。
冷却系统
4L(机电式冷阱)
真空系统
DIN 40 ISO-KF
排气
电磁式排气阀
真空泵
抽速50m?/h
电气连接
三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


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