产地类别 | 国产 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,食品/农产品,化工,制药/生物制药 |
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等离子体技术堪称半导体等现代行业的材料处理的多能技术。 清洗方面,可为几乎所有类型的污染物、所有基材和所有后 续处理提供解决方案,分解由分子级的工艺残留污染物。
材料活化方面,它可以使物体表面具有良好的湿润性,是确保 在涂膜、粘接、印刷或者键合时与配体牢固粘附的前提条件。
材料加工方面,合适频率的等离子体技术可用于各向异性和各 向同性蚀刻,统称干法刻蚀,在半导体制程中是关键性工序。
低压等离子体甚至可以用做材料涂覆,等离子射流将气态和液 态原材料输送到真空腔室中,等候材料聚合或反应后黏附在物 体表面。本系列等离子设备含标准型,从2寸单片到12寸多片 处理都有对应的型号,控制方式可选手工,自动,电脑控制等。