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MKW-3000 磁学测量系统

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

全新一代磁学测量系统

2013 年 3 月makeway 公司在美国物理协会年会上,发布了全新设计的磁学测量系统:MPMS3系统。该系统仍旧基于SQUID探测技术,但不是MPMS(SQUID)XL系列和SQUID-VSM系统的简单升。MPMS3系统是makeway公司潜心开发多年的结晶,在该产品上集成了大量的全新技术。

对比于MPMS XL和SQUID-VSM磁学测量系统,MPMS3将二者的优点进行了融合。MPMS3系统外观虽然与SQUID-VSM相似,但系统进行了重新设计,同时具备了SQUID-VSM的高速高精度测量,以及MPMS XL的DC测量模式、Raw Data功能和Point- to-Point测量功能。系统带有全新的DC Scan测量模式,VSM测量模式以及交流测量模式可供用户选择,大程度的满足用户的测量要求。MPMS XL用户和SQUID-VSM用户将会非常容易的上手使用MPMS3。另外对于SQUID-VSM用户,我们也提供了升方案,用户可将SQUID-VSM系统升至MPMS3系统。

MPMS3系统带有的新式无液氦Evercool选件,可实现全氦气启动和运行,摆脱对液氦的依赖。

全新一代磁学测量系统

MPMS广泛分布于世界上几乎所有相关的前沿实验室,在学术界具有良好口碑。MPMS系统由一个基系统和各种拓展功能选件构成。基系统同时提供变磁场测量环境和变温度场测量环境,拓展功能选件包括各种全自动磁学测量功能选件,如AC磁化率测量系统选件(进行交流磁化率的测量,频率0.1Hz - 1kHz,磁矩灵敏度≤ 5×10-8 emu (typical))、高温炉选件(把仪器高可测量温度拓展到1000K)、超低磁场选件以及磁场重置选件(用于退磁可获取达0.005G的超低磁场)。而且MPMS带有液氦自循环系统,能够全自动实现液氦的循环利用,地方便了获取液氦不方便、或者液氦价格昂贵的地区用户。

所包含的领域有物理、材料、化学、生物、地质等学科。所能研究测量的材料涵盖金属、陶瓷、半导体、超导体、磁性材料、合金材料、有机材料、介电材料和高分子材料等等。材料的形式可以是:块材、薄膜、粉末、液体、单晶及纳米材料。

MPMS3全新技术

1) RapidTemp-快速温控技术

系统从300K匀速降至10K仅需15分钟,从10K稳定到1.8K也仅需5分钟

2) QuickSwitch-超导开关技术

超导开关在超导态和正常态之间的转换仅需要1秒钟时间

3) FastLab-快速数据采集技术

系统的超导磁体允许700Oe/s的励磁速度,在零场下仅需4秒数据平均时间(data average time),系统便能达到1x10-8emu的测量精度;并且系统允许用户在扫场模式下进行高精度的测量。

5K温度下铁磁薄膜MH曲线

MPMS3 DCScan与MPMS XL对比


MPMS3系统参数:

温度区间:

1.9~400 K 连续控制

降温速度:

30 K/min 300 K>T>10 K

10 K/min 10 K>T>1.8 K

样品腔内径:

9 mm

磁场强度:

±7 T

磁场均匀度:

4 cm 范围内达到 0.01%

励磁速度:

4 - 700 Oe/s

样品振动范围:

0.1-8 mm (峰值)

测量磁矩:

2 emu(DC Scan);

>100 emu(VSM)

测量灵敏度:

≤2500 Oe:

≤5×10-8 emu(DC scan)

≤1×10-8 emu(VSM)

>2500 Oe:

≤6×10-7 emu(DC scan)

≤8×10-8 emu(VSM)

MPMS选件

MPMS3 Evercool选件(氦气启动和运行,无需液氦)介绍(点击打开)

MPMS3 OVEN选件(可将测量温区拓展1000K)介绍(点击打开)

MPMS3 AC Susceptibility Measurement选件介绍(点击打开)

MPMS3 Ultra-Low Field Capability (ULF)选件介绍(点击打开)

MPMS3水平旋转杆、磁光测量和电学测量选件介绍(点击打开)

MPMS3 iQuantum He3选件(点击打开)

MPMS测试数据

高温直流、交流磁化率测量数据

镍材料高温直流、交流磁化率测量数据

磁化率测试数据

由哈维·穆德学院教授Professor Eckert提供的铁磁薄膜在较弱磁场下的磁矩测量数据,展现了MPMS3对小磁矩样品测量的精准性

磁化率DC模式测试数据

相对于MPMS XL而言,MPMS3系统使用的DC测量模式的测量效率得到了质的飞跃。

磁场扫场速率测试数据

相对于MPMS XL系统,MPMS3的扫场速率大幅提升。

光磁测量选件测试数据

场冷(100Oe)和零场冷并使用DC模式测量的光磁数据。

水平旋转杆测量选件测试数据

铁磁性薄膜材料±2T磁场下 0-90° 4个不同角度测量得到的MH曲线





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