流量计 液体气体混合配比器

    液体气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

   它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

概览

   液体气体混合配比器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括： 集成电路工 艺设备，如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机； 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0~5V 模拟信号，4~20mA 或 0~20mA 模拟信号，可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC)。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC。CS200-C 与 CS200-D 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中 CS200-C 金属表面符合 SEMI 标准的要求。

CS200-A,C,D MFC 默认配置为：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 电压控制。

更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。

标定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，

则按照标准状况标定。

1、标准状况

出口压力：大气压
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：

SCCM：标准毫升/分钟
SLM：标准升/分钟
标准状态：温度 0°C (273.15K)
                 气压：101325Pa (760mm Hg)

在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
MFC/MFM 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺及其它位置的安装，为保证的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。

2、制造环境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在温度为 22±2°C的 100 级的净化间内组装，1000 级净化环境下标定及包装。

3、精度调节
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂