国产层流压差流量控制器技术介绍

在精密制造与科研领域，气体流量的精准控制直接关系工艺质量和实验结果。陕西易度智能科技有限公司依托自主研发的层流压差技术，推出了SC、MC、EC及P系列质量流量计（MFM）和质量流量控制器（MFC），为我国半导体、新能源、生物制药等领域提供了高可靠性的气体测控解决方案。

层流压差技术是易度智能产品的核心优势。其原理是通过层流元件将湍流气体转化为规则的层流状态，利用压差传感器测量层流元件两端的压力差，再结合内置的高精度温度与压力传感器实时补偿环境波动，直接将工况流量转化为标况质量流量。这一技术摆脱了传统热式流量计对“预热”的依赖，实现开机即用、响应速度低于500ms，在-20℃~60℃的宽温域及1MPa压力环境下仍保持稳定运行。

易度智能的产品线覆盖多场景精度需求：

SC系列配备触控屏，支持实时显示温度、压力、标况/工况流量等4种参数，精度高达±0.5%设定值，重复性±0.1%F.S.，适用于实验室高精度标定与材料制备等场景；

EC系列取消屏幕设计但同等精度，强化工业抗干扰能力，标配RS485通讯，支持模拟信号扩展，专为集成到原子镀膜设备、精细化工生产线等工业系统优化；

便携式P300内置电池，续航15小时，满足现场移动检测需求。

所有系列均内置70余种气体数据库，涵盖氢气、氩气、特种混合气等，可直接切换介质或编辑混气比例，无需人工转换系数。结合上位机软件，可实现流量数据的实时监测与历史记录分析，大幅提升复杂气体控制场景的效率。

目前，易度智能的层流压差流量设备已应用于多个领域：在光伏镀膜工艺中精确控制反应气体浓度；为生物反应器提供无菌环境下的稳定气源；集成于环保分析仪器实现排放气体的动态监测。其金属密封壳体与316L不锈钢流道设计，更确保了在腐蚀性气体和电磁干扰环境中的长期可靠性。

从科研仪器到工业生产线，陕西易度智能通过层流压差技术的深度创新，不仅打破了气体流量控制设备的国际垄断，更以“高精度-免预热-强抗扰”三位一体性能，推动国产气体测控技术。未来，随着氢能、半导体等战略产业的升级，这一自主技术体系将为中国精密制造提供更坚实的支撑。