日立超高分辨钨灯丝扫描电镜SU3500

1、高灵敏度五分割半导体背散射电子探测器（日立为标配，其它家均为选配）
背散射电子图像对于反映样品成分是非常重要的模式，如观察样品材料表面
缺陷分析中的夹杂和偏析等，BSE 模式下可以获得区域中成分差异表现出来的衬
度像。日立 SU3500 扫描电镜标配了高灵敏度五分割半导体背散射电子探测器，
可实现 3D 形貌观察，可以体现材料表面凹凸信息。而且分辨率达到 4nm。
高灵敏度表现在可以在快扫描刷新模式下成像，方便寻找样品，另外在低加速电
压也可以获高质量的 BSE 图像；五分割设计使得电镜可以获得更多组合模式
成像（每个分割片都可以单独设置为正信号、负信号或者 OFF），另外 5 片分割
片同时开启可以获得日立 SU3500 扫描电镜*的 BSE 3D 模式像，以得到立体
感增强的背散射电子图像。方便客户实现对被测样品多角度观察，全面分析和观察！

2.六偏压设计提高低加速电压条件下的电镜图像质量
低加速电压图像可以获得样品更多表面细节信息，在材料的表面高衬度观察
和腐蚀失效分析等方面有着非常重要的分析应用价值。日立 SU3500 扫描电镜采
取的是四偏压设计，提高低加速电压条件下的发射束流值，明显提升 SEM 图像质量。适用于观察非导电样品

3.完善的防碰撞系统避免马达台移动中碰撞损坏样品仓内的探测器
 日立 SU3500 扫描电镜具有*的三重防碰撞系统，1，高度规测量高度，
2.软件防护 3.硬件挡板防护。 首先只要在样品放入样品仓之前输入样品高度和
样品台直径，系统会自动屏蔽可能发生碰撞的马达台操作，避免损坏样品仓内价
值不菲的各类探测器。

4.新颖的相机导航功能方便寻找和确定样品位置
电镜图像是根据样品不同位置的信号强弱来成像的，某些样品光学图像中不
同颜色代表不同区域，这种情况下通常在电镜操作过程中很难找到相应的位置。
使用光学数码照片导航功能，可以一目了然的确定样品台不同区域的位置，在很多情况下可以*的提高了寻找感兴趣区域的效率。

5.长衬管设计方便更换聚光镜光阑，降低电镜维护成本
扫描电镜在使用一段时间之后需要更换光阑以确保其高分辨图像的观察效
果，日立 SU3500 扫描电镜采用聚光镜光阑长衬管安装方式，取出和安装简单易做，保证了维护后性能的稳定，用户经过培训之后即可自行更换聚光镜光阑片，
节约了维护费用。

应用领域： 

1、 生物医学 

2、 食品卫生 

3、 电子半导体 

4、 汽车制造 

5、 新能源