激光平直度测量仪测试原理以及功能信息

原理信息：PSD 基于非均匀半导体的横向光电效应工作，由形成在高电阻率半导体衬底表面的均匀电阻层和用于提取位置信号的电极组成，有源区的 p-n 结通过光电效应产生光电流。通过计算光电流，可得出激光点的能量中心在感光面的位置信息，进而获取被测对象的直线度、平面度等数据。例如，测量直线度时，可实时测量各个测量位置的高低和左右位移量，而非角度值。

功能信息：

高精度几何量测量：可高精度非接触测量工件或导轨的直线度和平面度，广泛应用于通用机床、半导体加工设备、新能源加工设备等工业领域，确保产品质量。

一键调光：革新了传统仪器繁琐耗时的调光过程。用户只需在测量起始点执行一次清零操作，并在终点处简单调整发射器至预定指示值，即可在不超过 2 分钟内完成调光，极大提高测量效率，降低操作难度，且测量导轨越长，效率提升效果越明显。

多方向同时测量：可同时测量高低和左右两个方向的直线度，还能实现不等间距测量，无需借助桥板，也可对断续导轨的直线度进行测量。

测量范围广且误差小：直线度、平行度、平面度、垂直度测量范围均为 ±5mm，直线度测量误差为 ±（0.5% h+1μm），平行度和垂直度测量误差为 ±（4+2/m+0.005h/m）μm/m，平面度测量误差≤±（1+1.1m+0.005h）μm（其中 h 为仪器的最大显示值，单位为 μm；m 为基准面、基准轴长度或平面内最长测量线的长度，单位为 m）。

环境适应性强：温度、湿度、气压对设备影响很小，虽空气扰动有一定影响，但整体而言，能在多种工业环境中较为稳定地工作。