如何计算蒸镀时需要的真空度

来源：深圳市京都玉崎电子有限公司 2025年07月18日 11:40

气体分子的运动：气体分子的平均速度：v=（8kT/^πm）^1/2，由此得出：气体分子的质量数越大，其分子的平均速度越小。

分子流强度用J表示，则单位时间内通过单位面积上的分子数可表示为：J=（kT/2^πm）1/2=1/4(nV)

n为单位面积上的分子数，v为分子的平均速度。

准备：一般的固体物质，其单位面积（1cm²）上的分子数大约为10¹⁴。1Pa=1N/m²；1atm，即一个标准大气压=760mm的Hg柱产生的压强=101325Pa；1Bar=750mm水银柱产生的压强；Torr=1mm的Hg柱产生的压强；

真空可大致分为四个：低真空（100-0.1Pa），中真空（0.1-10-4Pa），高真空（10-5-10-7Pa），超高真空（＜10-7Pa）。其对应的气体密度以4-5个次幂下降，但其对应的气体分子平均自由程却以4-5次幂上升。

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