能谱扫描电镜是一种结合扫描电子显微镜与能量散射光谱仪的组合设备

来源：苏州浪声科学仪器有限公司 2025年07月01日 17:22

　　能谱扫描电镜是一种结合了扫描电子显微镜和能量散射光谱仪的综合显微分析系统‌。它通过电子束与样品相互作用产生的信号，实现样品的形貌观察及化学成分分析‌。

　　设备组成与工作原理

　　扫描电子显微镜(SEM)：组成：包括电子光学系统、扫描系统、信号收集系统、图像显示和记录系统、真空系统及电源系统。

　　工作原理：利用聚焦后的高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品原子相互作用产生二次电子、背散射电子等信号。这些信号被探测器捕捉并转换成图像，揭示样品的表面形貌和结构信息。

　　能谱仪(EDS)：组成：能量分析器、探测器等。

　　工作原理：检测电子束与样品互动时产生的特征X射线，根据能量分布差异区分元素种类，并计算各元素的相对含量。EDS可在真空室条件下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征X射线，实现样品表面微区成分的定性与半定量分析。

　　‌SEM部分‌：利用聚焦的高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品原子相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号，揭示样品的表面形貌和结构信息‌。

　　‌EDS部分‌：在真空室条件下，电子束轰击样品表面，激发出特征X射线。根据X射线的能量差异，可以定性和半定量分析样品表面的元素种类和含量。

　　具体应用实例

　　‌微观形貌观察及尺寸测量‌：如断口显微形貌观察、电子产品内部结构观察、表面形貌观察、镀层厚度测量、锡须长度测量等‌。

　　‌材料微观结构观察‌：用于研究材料的微观结构和成分分布‌。

　　样品要求：

　　样品需为固态，表面导电性良好，无磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性。样品尺寸需适中，过大时需切割取样；表面需平整，以满足定量分析的要求。非导体样品表面需镀金或镀碳处理，以提高导电性。

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