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半导体生产过程中使用的有害气体主要包括砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、氨(NH3)、硫化氢(H2S)、氯气(Cl2)等1。这些气体在生产、灌装、储存、运输和使用过程中，若发生泄漏，会对空气质量产生以下影响：
污染大气：有毒气体的泄漏会直接污染大气，导致空气质量下降。这些气体可能在大气中形成有害的化合物，影响人类和其他生物的呼吸健康。
影响环境和人体健康：长期接触或吸入这些有毒气体，会对人体的呼吸系统、神经系统、消化系统等多个系统造成损害。例如，砷烷和磷烷等气体可导致神经中毒，氨和硫化氢等气体则可能引发呼吸道疾病。
综上所述，半导体生产中的有害气体如果发生泄漏，会对空气质量造成严重污染，并对环境和人体健康产生负面影响。因此，在半导体生产过程中，必须严格遵守安全操作规程，采取有效的防护措施，以防止有害气体泄漏，保护环境和公众健康
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