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超纯水脱氧机（或称无氧水设备）的工艺流程主要用于去除水中的溶解氧，通常应用于电子、制药、化学等行业中，以确保水质达到更高的要求，避免氧化对设备、产品的影响。以下是常见的超纯水脱氧机的工艺流程：
1.预处理
目的：去除水中的大颗粒杂质和其他有害物质，以保护后续设备的正常运行。
步骤：
原水过滤：通过粗滤器或多介质过滤器去除水中的悬浮物、颗粒物和较大的杂质。
活性炭吸附：使用活性炭过滤器去除水中的有机物、氯、异味等物质。
软化水处理：如果原水中硬度较高，会使用软化设备（如阳离子交换树脂）去除钙、镁等硬度离子，避免水垢在设备中沉积。
2.超纯水处理
目的：进一步提高水质，使水中的溶解物质达到超纯水的标准。
步骤：
反渗透（RO）膜：通过反渗透膜对水进行脱盐处理，去除水中的大部分溶解物质、盐分、细菌、重金属等。
电去离子（EDI）装置：通过电去离子装置进一步去除水中的离子，确保水达到极低的导电性，一般达到1-10µS/cm。
3.脱氧处理
目的：去除水中的溶解氧，防止氧化反应。
步骤：
脱氧塔：脱氧塔是脱氧过程的核心部分，通常通过将水与惰性气体（如氮气）接触，降低水中的溶解氧浓度。通过氮气与水中的氧气反应，水中的氧气会被气体带走或转化为氧化物。
脱氧剂：在某些系统中，可能还会加入脱氧剂（如亚硫酸氢钠、亚硫酸钠等）以帮助去除水中的氧气。这些脱氧剂通过化学反应与溶解氧结合，形成无害物质，进一步降低水中的氧含量。
4.后处理
目的：进一步确保水质符合最终使用要求，避免水中的残留物对设备或产品造成影响。
步骤：
超滤（UF）：超滤膜用于去除水中的微小颗粒、细菌等，确保水质更加纯净。
紫外线消毒：在水处理过程中，紫外线消毒可以去除微生物，确保水的无菌状态，防止微生物滋生。
5.水质监测与控制
目的：确保整个水处理过程的稳定性和水质的合格性。
步骤：
在线监测：通过在线监测设备实时检测水的pH值、电导率、溶解氧、浊度等指标，确保水质稳定。
自动控制系统：系统通过自动化控制水处理设备的工作状态，保证各个环节的流量、压力、温度等参数在合理范围内，确保水质达到预定标准。
6.产品水输出
目的：提供符合要求的无氧水或超纯水。
步骤：经过上述处理后的水，通常通过储水罐存储，并通过管道输送到需要使用超纯水的设备或生产线。
工艺流程图简述
原水→2.预处理（过滤、软化）→3.反渗透（RO）处理→4.EDI处理→5.脱氧（脱氧塔、脱氧剂）→6.后处理（超滤、紫外线消毒）→7.储水罐/终端输出→8.监测与控制
设备关键组成部分
反渗透（RO）膜单元
EDI模块
脱氧塔与氮气装置
自动化监测与控制系统
储水罐与出水管道
总结
超纯水脱氧机的工艺流程是通过多级处理，从预处理到超纯水制备，再到脱氧与后期处理，确保水中的溶解氧被有效去除，同时保持水质的超纯性和符合特定应用的需求。这一过程常用于对水质要求极为严格的领域，如半导体、制药、化工等行业。
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