8921SC13型美国BIRD油射线RF终止负载以实现最大的过程可重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的RF功率调节和控制。确保准确且可重复的RF电源到腔室的关键组件是RF发电机的校准,调节和监视。现在,Bird提供超稳的低VSWR负载,可快速,精确地测量发电机功率输出时,与精确的功率传感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8921SC13不仅提供较低的VSWR,而且在临界频率下VSWR的VSWR总变化少于0.1 dB。由于校准不同的时间长度,不需要负载热身或重复性风险。这可以大程度地减少与此校准相关的错误,并控制更关键的过程变量之一。
8921SC13型美国BIRD油射线RF终止负载产品规格如下:
电力等级5 kW频率范围和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。
VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名义)VSWR稳定性<0.1 dB,稳定频率下的额定功率从0到100%稳定频率13.56 MHz±10 kHz连接器“ QC”类型LC(女性) - 通常提供互锁热开关 - 可选通常关闭。在236°C(457°F)处打开热开关等级115 VAC,10 A
230 VAC,5 A温度范围操作: +5至+40°C(+41至+104°F)
存储: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)湿度95%的无调最大。冷却方法油介电和对流电流方面32.8“ x 9.5” x 26.9“
832 x 241 x 681 mm重量126磅。
57公斤结束黑色环氧树脂
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