中科科仪扫描电镜KYKY-EM8100 / EM8000
简介
KYKY-EM8100 场发射扫描电镜采用电子束加速镜筒，确保低压下较好的成像功能，超高分辨率，适合研究所，高校等更多高分辨率观测需求。
使用肖特基场发射电子枪，亮度高，单色性好、电子束斑小，寿命长，超大样品仓，满足不同客户的观测需求；
低像差物镜技术提升成像品质，特殊结构设计，样品适用性更广；锥形物镜设计，提升各类信号探测效率；
借助于光学显微镜可以看到0.2微米的这个尺度，可以看到细胞、细菌的结构等；而借助扫描电子显微镜，就可以观察到纳米级尺度，可以观测到病DU、半导体器件的纳米结构等。
产品特点
1. 0.9nm@30Kv (SE)，2.5nm@30kV (BSE)
2. 低加速电压不导电样品可直接观测，无需喷金
3. 超大样品舱，样品直径340mm，可定制样品仓尺寸
4. 束流稳定度高，色散小，适宜于长时间的各种精确分析
中科科仪扫描电镜KYKY-EM8100 / EM8000 技术指标
分辨率 | 0.9nm@30KV（SE）; 2.5nm@30KV （BSE） |
放大倍数 | 2-3,000,000（图像放大） |
电子枪 | 肖特基热场发射电子枪 |
加速电压 | 0.2～30kV |
自动调整功能 | 聚焦，亮度/对比度、消像散、电子束对中 |
探测器 | 高真空二次电子探测器（探头防碰撞）、CCD |
样品台 | 五轴全自动大样品台 行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+75°,R=360° 样品直径: Ф340mm；样品高度：50mm；具有碰撞报警功能。 |
选配探测器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
广泛应用到材料科学、生命科学、航天航空、环境保护、半导体制造等领域，解决微米至纳米尺度的微观形貌观测以及微区成分分析问题，为我国前沿科学研究、重大工程和战略新兴产业的发展提供了重要支撑。
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