询价8英寸晶圆倒片机
询价时间：2025/7/22 16:38:17
报价截止：2025/7/31 23:59:59
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询价产品（产品性质：加工/订制品）
| 产品名称 | 采购量 | 品牌 | 型号 | 产品描述 | 产品文件 | 图片 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 8英寸晶圆倒片机 | 1台 | 该晶圆倒片机为卧式退火设备配套使用，实现规模化生产的自动化要求，旨在实现8寸晶圆（包括Taiko晶圆）在晶圆舟和Cassette之间的搬运的过程。 |
对供应商要求
- 收货地：
- 江苏 >无锡市 >锡山区
- 发票要求：
- 增值税专用发票（备注：专票资质可以报普票要求）
- 报价要求：
- 需要报含税价
- 采购类型：
- 单次采购
补充说明
该晶圆倒片机为卧式退火设备配套使用，实现规模化生产的自动化要求，旨在实现8寸晶圆（包括Taiko晶圆）在晶圆舟和Cassette之间的搬运的过程。作为退火炉配套使用设备，乙方需提供满足甲方退火炉要求的晶圆舟三维模型、图纸及加工要求，并能根据甲方提供的Cassette型号进行作业。
晶圆传输：实现晶圆舟和Cassette之间的8寸晶圆批量化传输，一次取放25片晶圆。
系统配置及要求：
（1） 根据自动化要求和设备的工艺要求，该系统应具备以下详细配置功能：
（2） 晶圆规格：standard及taiko晶圆；
（3） 标准晶圆厚度200 μm至800 μm（极端情况至1000 μm），taiko晶圆中心减薄至50 μm；
（4） 传片效率：装满晶圆舟所有槽位（不含cassette上料）耗时<3 分钟（不包括人为操作时间）
（5） 可通过便捷操作切换传输方向，实现晶圆舟和Cassette之间互相搬运。
（6） 平均故障间隔时间：≥2,000小时；
（7） 平均故障修复时间<2 小时；
传输流程：
1) Cassette被上料到Cassette定位模块；
2) 利用托举装置，取出Cassette中的晶圆；
3) 抓取模块取出托举装置的晶圆，并移动至晶圆舟上方；
4) 晶圆舟下方的托举装置启动，从抓取模块中取下晶圆舟；
5) 晶圆舟下方的托举装置下降，将晶圆放置于晶圆舟内。
（8） 晶圆倒片机传输破片率<1/10,000
