1179A mks流量计 流量控制器

1179A是一款纯模拟量控制的气体流量控制器控制器

MKS 1179A是一款通用型弹性密封的质量流量控制器，由美国MKS Instruments公司生产。以下是其详细介绍：

• 技术参数：全量程包括10SCCM、20SCCM、50SCCM、100SCCM、200SCCM、500SCCM、1000SCCM、2000SCCM、5000SCCM、10000SCCM、20000SCCM。控制量程为全量程的2%至99%，测量精度为全量程的1%，灵敏度为全量程的0.1%。热机时间小于2分钟，响应速度小于2秒。输入电压为±15VDC@100ma，输出电压为0-5VDC。

• 接口与材质：连接器有模拟（9Pin或15Pin或20Pin Card edge）和数字（RS485或Device net或Profibus）两种类型。法兰接口包括Swagelok 4VCR、Swagelok4 VCO、Swage 1/4”等。材质为316不锈钢。

• 特点与应用：具有数字和模拟两种模式，标准的3英寸底座使它能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合，配上合适的压力控制器，还可以作为压力控制器使用。