SC1 日本ULVAC爱发科磁控管型冷阴极真空计
参考价 | ? 5000 |
订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本爱发科
- 型号 SC1
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/25 16:11:43
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 5千-1万 |
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应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科磁控管型冷阴极真空计
日本ULVAC爱发科磁控管型冷阴极真空计
特征
传感器规格
当不需要压力显示时,可以实现以下优点:
由于取消了显示器,真空计成本降低?更小的尺寸释放了控制面板空间
减少布线
维护非常简单
消除了细丝:不会因暴露在大气压下而损坏
控制输出符号:2 个设定点输出
输出信号:压力读数为 0 至 10V Log 输出(非线性输出)
电源电压:DC24V 供电
应用
用于半导体、光学和电子零件制造的精密真空设备压力范围内的过程控制
工业设备(如熔炉)的低真空范围内的过程控制
在压力范围内对具有多个工艺腔室的真空系统进行工艺控制,例如在线溅射和单晶片加工设备
规格
类型 | 传感器单元 | ||
型 | SC1 | ||
兼容的传感器头 | C-21、23、24、25 | ||
测量压力范围 | 1.0×10-5至 1.0 Pa | ||
7,5×10-8至 7.5×10-3托 | |||
1.0×10-7至 1.0×10-2毫巴 | |||
准确性 | +100%,-50%(1.0×10-4至 1.0×10-1Pa) | ||
+100%,-50%(7.5×10-7至 7.5×10-4托尔) | |||
+100%,-50%(1.0×10-6至 1.0×10-3mbar 的 | |||
测量值输出 | 非线性输出:0 至 10VDC | ||
压力设定调整监视器 | 非线性输出:0 至 10VDC | ||
控制输入信号 | HV 开/关 | ||
控制输出信号 | 集电极开路输出,负逻辑 确认放电/设定点驱动信号 1/2 | ||
控制输出信号 | 集电极开路输出,负逻辑 确认放电/设定点驱动信号 1/2 | ||
LED显示屏 | 电源、HV、保护、SETPOINT1/2 | ||
工作温度范围 | 10 至 40°C(50 至 104°F) | ||
工作湿度范围 | 15 至 80%(不结露) | ||
电源电压 | DC24V±2V,150mA | ||
输入/输出连接器 | D-sub-15pin(M2.6 螺丝) | ||
重量 | 430g(不包括传感器头) | ||
标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 | ||
快速手册 1 个 |