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Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料学博士共同创办的德国公司。基于 Science is international”的想法,“全球协同实验室”成为三位博士追逐的梦想。

公司愿景是从科学家到科学家,科学开创美好未来。

FIRSTNANO深耕于半导体技术、材料科学、生命科学等科研领域,始终秉承“前沿、专业、科学”的宗旨,将前沿技术引进到协同实验室。我们的产品覆盖了微纳加工制程;材料科学的检测、分析;生命科学成像,脑科学与行为认知等相关领域。作为全球科技前沿的仪器供应商,FIRSTNANO具有全球技术视野、优质供应体系、以及严格的质量管控系统,能为客户提供前沿的技术解决方案。

公司服务的客户领域广泛,其中包括消费电子、航空、航天、医药技术、半导体行业、光电子行业、高校和研究机构。

在成长的过程中,我们脚踏实地、奋勇向前。自2015年香港(中华区)公司成立以来,我们一相继在香港、深圳、上海和武汉设立了分支机构。

我们真诚邀请业内英才加入FIRSTNANO TEAM,一起为梦想扬帆起航!

 

 

 

 

 

半导体仪器和电子产品耗材耗材

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机产品简介

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机设计用于支持侵蚀性和腐蚀性工艺气体。等离子室已被更耐化学腐蚀的蓝宝石管所取代。真空密封设计和腔室材料的选择已被优化,以支持等离子体内部的腐蚀性自由基。对于需要对石英腔室进行等离子体蚀刻的应用,SEMI-KLEEN 蓝宝石是比传统石英腔室等离子体源更好的选择。

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机产品应用

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机已被用于存款薄膜,在原子层沉积系统中薄膜沉积之前清洁样品表面,以及从金属表面清洁碳和氧污染物。客户的测试结果表明,SEMI-KLEEN 等离子体源仅需 2 秒的氢等离子体就可以去除 InGaAs 样品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 蓝宝石等离子体源可用于仅由涡轮泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的压力范围内工作。

Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机






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