新的改进和创新设计的 德国进口 SPS匀胶机 Polos旋涂仪 SPIN系列 SPIN200x 型号，它是一种多功能的高质量基材旋涂机，由NPP制成，也可采用PTFE 制成。它是专门为研发和小批量生产而设计的。它是用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。
德国进口 SPS匀胶机 Polos旋涂仪 SPIN系列 SPIN200x 全新升级版现已上市
我们全新改进设计的POLOS® SPIN200x匀胶机型号现已开放订购。该型号提供精准且可重复的工艺控制，主体材质采用天然聚丙烯（NPP），或可选耐化学腐蚀的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。
此型号基于市场验证的经典型号升级开发，提供标准版与进阶版两种配置，可兼容处理：
①直径最大200 mm的圆形基板
②150×150 mm的方形样品
专为半导体、光伏、MEMS及纳米材料领域设计，适用于多种基材的涂覆加工，性能可靠，适配严苛工艺要求。
品牌 | Polo |
型号 | SPIN200x |
样品尺寸 | 晶圆：最大直径 8" (200 mm) 方片：最大6"x6"（150mm） |
最高转速 | 12000rpm |
加速度 | 1~30000rpm |
旋转方向 | 可正反转 |
一．创新设计亮点
优秀的结构设计
特殊外壳与排水系统设计，支持桌面式与嵌入式安装模式自由切换。模块化结构允许用户通过多样化配件升级设备，优化点胶操作与整体流程便捷性。
二．电机归位位置自定义
全新SPINx系列支持设定电机归位位置，便于无缝集成至机器人控制/自动化产线环境。
三．便捷腔体访问
真空吸盘高于匀胶碗边缘，确保机械手末端执行器、镊子或真空吸笔可直接触达晶圆/基板，满足机器人操作的特殊需求。
四．自动开盖系统
可通过用户界面或脚踏开关（适配手套箱环境操作）实现盖体自动开闭
支持在工艺配方结束时自动触发开盖动作
五．液体过滤保护装置
SPINx系列配备液体过滤器，有效保护匀胶机核心组件（驱动单元、真空阀、真空传感器及伺服控制器）。该装置可拦截通过工艺腔或真空吸盘进入管路的液体，所有光刻胶或流体将被安全收集至透明观察瓶内（通过设备外壳视窗可实时监测）。维护建议：定期检查收集瓶并按需清理残留液体。
六．适用工艺范围
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
冲洗/干燥（Rinse/Dry）
显影（Developing）
蚀刻（Etching）
PDMI及其他特殊工艺
SPIN200x硬件规格
类别 | 参数细节 |
工艺腔材质 | 天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE，仅限Advanced版可选） |
最大基板尺寸 | 8英寸（200毫米）晶圆 或 6×6英寸（150毫米）方形基板 |
核心功能 | 液体过滤装置、自动开盖系统（进阶版含脚踏控制）、可编程电机归位位置 |
点胶系统 | 中央注射器/点胶嘴适配接口 |
安全设计 | 盖体锁定装置、真空传感器 |
人机交互 | 大尺寸可拆卸触摸屏、USB接口（配方存储与软件升级） |
驱动单元技术参数
1.驱动类型：间接无刷电机，最高转速12,000 RPM
2.控制精度：高加速性能，转速范围1 - 30,000 RPM（需确认实际可达性）
3.旋转模式：顺时针/逆时针旋转及静态浸润（Puddle Mode）
4.安装兼容性：支持桌面式与嵌入式模式切换
标准配件
真空吸盘（适配4-8英寸/100-200毫米晶圆）
基板适配器套装
采购中心
Ky开元集团