KLA Nano Indenter® G200X纳米压痕仪提供了易于使用的纳米级力学测试工具，并快速、精确地对结果进行定量分析。G200X系统配置了我们性能优秀的运动系统、最大的样品装载系统和高分辨率光学显微镜。因为拥有InView软件、InQuest控制器和InForce作动器，我们的整个压痕产品线均拥有优秀的性能。KLA Nano Indenter® G200X纳米压痕仪系统选件包括连续刚度测量（CSM）、扫描探针显微成像、划痕测试、频率扫描、电学性能测量、快速压痕测试和冲击测试。

主要功能

• 电磁驱动作动器可实现载荷和位移的宽动态范围控制

• 高分辨率光学显微镜与精密XYZ移动系统的结合能实现高精度观察与定位测试样本。

• 便捷的样品装载台与多样品定位功能实现高通量测试。

• 模块选件远不止能进行压痕测试，还可进行SPM成像、划痕测试、高温纳米压痕测量、动态压痕测试（连续刚度测量）和快速压痕测试等模块化升级选件。

• 直观的用户操作界面便于快速进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成测试的参数设置。

• 实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试设置。

• 全套InView软件，包括用于分析数据和创建报告的ReviewData和InFocus。

• 备受赞誉的快速纳米压痕测试可用于生成材料力学性能图像，并提升统计数据的可靠性。

• InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间常数最快为20µs。

主要应用

• 快速硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料表面力学特性成像

• ISO 14577硬度测试

• 薄膜及涂层测试

• 界面附着力测量

• 断裂韧性测量

• 粘弹性测量，包括损耗因子，储存模量和损耗模量

• 扫描探针显微成像（3D 成像）

• 定量划痕和摩擦磨损测试

• 高温纳米压痕测试

• I-V测试

行业分布

• 高校、科研实验室和研究所

• 半导体与封装产业

• PVD/CVD硬质涂层（DLC、TiN）

• MEMS：微机电系统/纳米级通用测试

• 陶瓷与玻璃

• 金属与合金

• 制药

• 涂层与油漆

• 复合材料

• 电池与储能

• 汽车与航空航天