MM3E 位置编码的微纳操纵仪
- 公司名称 上海溪拓科学仪器有限公司
- 品牌 德国Kleindiek
- 型号 MM3E
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/1/16 15:33:07
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位置编码的微纳操纵仪MM3E以MM3A-EM微纳米操纵仪为基础，具有MM3A-EM相同的紧凑性、精确性和稳定性。同时，MM3E具有闭环位置反馈功能（closed-loop positional feedback），该功能提高微纳米操纵仪的易用性。一键定位MM3E的探针到工作（Working）和停留（Parking）位置。
MM3E与市场上几乎所有的SEM或FIB/SEM兼容。它配备了一个直观的拖放式（drag&drop-style）控制软件，可方便地在SEM或FIB/SEM工具内定位探针。
软件可执行坐标变换，使MM3E以笛卡尔坐标系工作，其重现性仅为几微米。利用可选的带编码的旋转轴，样品可在工作位置进行同心旋转（compucentrically）。
位置编码的微纳操纵仪产品特点：
配有模块化组件和一系列插件工具的即插即用系统
适用于大多数SEM/FIB的接口解决方案
轻松使用多个机械手
结构紧凑，可实现更高的共振频率
几乎不受振动影响
快速手动预定位
宽大的工作范围（100cm?）
技术参数：
X/Y分辨率：0.5nm
Z分辨率：0.02nm
R轴分辨率：0.5e-6°
XYZ重复性：<2µm
R轴重复性：<0.02°
漂移：<1nm/min
同心旋转同心度~30µm
应用：
原位提取（In-situ lift-out）
纳米探测（NanoProbing）
微纳操纵（NanoManipulation）
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
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