日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
用于研究和开发的中电流离子注入机SME-3500
中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机，非常适合大学的研发。
特征
最大晶圆尺寸为8英寸，配备可处理不规则形状基板的压板。
除了气体源之外，固体蒸发源也可用于易于安全处理 B、P 和 As 离子的离子源。
高压端子部分与量产设备配置相同，确保高可靠性。
规格
| 活力 | 30 至 200keV（可选 3 至 200keV） |
| 最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV) |
| 最小束流 | 150纳安 |
| 离子种类 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
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