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Ky开元集团>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉> 定制RTP快速退火炉
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本所自开发RTP快速退火系列产品以来已近30年。自1988年受中科院委托研发光照快速热处理设备以来与清华，北大，浙大，半导体所，微电子所，物理所等高校研究所共同进步，为华为，三安光电，中电科等半导体企业保驾护航，也被一些海外的教授专家所青睐。如香港理工大学，香港中文大学，香港科技大学。美国堪萨斯州立大学，美国扬斯顿州立大学和新加坡南洋理工大学也有数台在科研教学一线。
快速退火炉，真空快速退火炉
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