GEN20 分子束外延MBE

1. 产品概述：

Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具，其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术，允许可选的集群工具晶圆传输系统，以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。 

材料研究和预生产环境的理想选择

垂直源到基板方向，具有 12 个 MBE 源端口和添加电子束功能的选项

手动或自动晶圆转移选项可配置的低温板、机械手、百叶窗和原位监测设备

模块化设计允许多两个增长模块

Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具，其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术，允许可选的集群工具晶圆传输系统，以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。