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Ky开元集团>产品展厅>半导体行业专用仪器>湿法工艺设备>湿法清洗设备>TWB-200 晶片清洗机

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TWB-200 晶片清洗机

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










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冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

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本机是一款全自动晶片刷洗机，全程封闭环境采用机械手自动操作，具备刷洗甩干功能，适用于各种半导体衬底材料抛光后的刷洗，可有效减少晶片表面颗粒污染。

功能齐全

具备刷洗甩干功能，全程封闭环境机械手操作，风险小，避免二次污染

操作简便

PLC触摸屏控制，机械手自动完成cassette to cassette的全自动晶片刷洗工作

兼容性好

可兼容2、4、6英寸晶片

占地面积小

尽量减少洁净间的占地面积

性能参数

项目TWB-200
晶圆尺寸兼容2、4、6inch
全自动上下片系统有
上料平台2个
下料平台2个
清洗工位2个
晶片固定真空吸附
刷洗PVA刷，可上下左右移动
干燥方式高速甩干
控制系统PLC触摸屏


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