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Ky开元集团>产品展厅>半导体行业专用仪器>湿法工艺设备>化学机械抛光机(CMP)>TSP-610 /810/910/1270 单面抛光机

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TSP-610 /810/910/1270 单面抛光机

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晶圆抛光

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1.  产品概述:

单面抛光机是一种高精度平面抛光设备,主要用于对片状、圆盘类或其他非金属和金属零件的表面进行抛光处理。它通过旋转运动,使磨料在磨具上作往复运动,以摩擦的形式去除工件表面的粗糙度(如氧化划痕等),同时利用磨料的滚动和加压作用,使工件表面达到一定的光洁度。

2 设备用途/原理:

单面抛光机广泛应用于以下领域和材料的加工:

  1. 石英晶体片、硅、锗片等半导体材料的平面抛光。

  2. 玻璃、陶瓷片等非金属材料的精细抛光。

  3. 活塞环、阀板、阀片、轴承等机械零件的平面处理。

  4. 钼片、蓝宝石等特殊材料的抛光加工。

3. 设备特点

1 高精度加工:单面抛光机通过精确的机械结构和控制系统,能够实现对工件表面的高精度抛光,满足严格的加工要求。

2 灵活可调:设备配备了加压气缸和抛光液自动供给装置,可以随意调节抛光压力和抛光时间,以适应不同材料和加工需求。

3 稳定可靠:主机选用变频调速电机驱动,装备大功率减速体系,实现软启动和软中止,作业平稳可靠。

4 操作便捷:机床造型及内部结构充分考虑了操作和维修的便利性,易于操作和维护。

5 智能控制:部分先进型号的单面抛光机还配备了文本显示器和电机变频调速系统,能够精确控制抛光量和磨削速度,实现智能化加工。

6 多样化设计:单面抛光机可根据加工工件的不同,定制不同的工作台和夹具,以适应多样化的加工需求。

综上所述,单面抛光机以其高精度、灵活可调、稳定可靠、操作便捷和智能控制等特点,在多个领域和材料的加工中发挥着重要作用。

规格/型号

TSP-610

TSP-810

TSP-910

TSP-1270

抛光盘规格

OD610mm

OD810mm

OD914mm

OD1270mm

抛光盘转速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~60 RPM

陶瓷盘规格

OD240mm

OD305mm

OD360mm

OD485mm

抛光头数量

2

4

4

4

抛光头转速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~75 RPM

0~65 RPM

抛光头摆动

硬轨液压车刀系统

可选配

可选配

可选配





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