KS-S300-E 单片湿法刻蚀机
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 芯源
- 型号 KS-S300-E
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 20:25:30
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1. 产品概述
满足半导体制造中湿法刻蚀工艺，单片加工，适用于SiO2，SiN，Polysilicon和各种金属层的刻蚀，清洗等工艺流程。
2. 产品优势
利用位置、速度可控的摆臂喷洒化学液，可以有效的提高刻蚀均匀性
分层式反应腔体设计，可以在同一腔体中喷洒多种化学液，并能有效回收，节约化学液
叠层控制，占地面积小，多可配置4个刻蚀单元
3. 应用域：
半导体制造中湿法刻蚀工艺
封装域中金属层刻蚀，满足UBM及RDL工艺要求
OLED 域中金属及金属氧化物（ITO/IGZO）刻蚀、缓冲层成膜的表面（SiO2）刻蚀清洗等工艺
满足半导体制造中湿法刻蚀工艺，单片加工，适用于SiO2，SiN，Polysilicon和各种金属层的刻蚀，清洗等工艺流程。
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