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Ky开元集团>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>无掩模光刻机/直写光刻机>织雀™PL-3D Premium 高精密微3D光刻机

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织雀™PL-3D Premium 高精密微3D光刻机

具体成交价以合同协议为准
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高精密微3D光刻

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1. 产品概况

织雀™PL-3D Premium 是托托科技自主研发的高精密微3D光刻设备, 高光学分辨率可达1μm,支持大50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸,设备还支持对准套刻功能,可在已有结构表面进行多材料的驳接打印,在复杂三维微纳结构、高深宽比微纳结构以及复合材料三维微纳结构制造方面具有突出的潜能和优势,而且还具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料种类多、无需模具直接成型的优点

托托科技(苏州)有限公司是一家注于显微光学加工和显微光学检测域的公司,在基于数字微镜器件的无掩膜光刻技术域中进行了数年的深入研究和技术积累,其研制和生产的无掩膜紫外光刻机一经问世,就受到了诸多客户的青睐,在科研和工业域都有广泛的应用。例如,在微纳加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型传感器等;在光电子域,可以用于制作光栅、衍射光学元件等。托托科技致力于设备底层技术的研究和积累,不断寻求技术的突破,努力为客户带来更好的设备和更好的使用体验,帮助客户创造更高的价值。

光学精度1μm

打印层厚<5μm

多精度镜头切换

支持陶瓷材料

对准套刻4D光刻

2. 应用案例

精密医疗器械

消费文创

力学超材料

微机械结构

微流道芯片 



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