RIE-800BCT 深硅刻蚀设备
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 SAMCO
- 型号 RIE-800BCT
- 产地 日本
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 13:39:08
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1. 产品概述
RIE-800BCT是使用电感耦合等离子体作为放电形式的生产型硅DRIE系统。这种高性能系统能够进行高纵横比处理（超过100）和低扇形处理，同时保持高蚀刻率和选择性。
2. 设备用途/原理
制造MEMS（加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、执行器等）。喷墨打印头的加工，形成通硅孔(TSV)，功率器件（超结MOSFET）的制造。等离子切割。
3. 设备特点
MEMS量产中的高速蚀刻，量产中的高宽比蚀刻，扇贝的控制/无扇贝的非波西法流程，倾斜控制，均匀性好，用于绝缘体硅(SOI)晶片缺口控制的偏置脉冲。深硅ICP刻蚀机是一种用于信息科学与系统科学、物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺试验仪器。
采购中心
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