TC-20 TC-Wafer校准仪
| 应用领域 | 综合 |
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TC-Wafer校准仪，是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。
适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。
特殊情况可定制以适配。
产品特点（部分）
1.测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温厂均匀性；
2.使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数 据，并能自动生成测试报告，
支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告；
3.显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，
可在使用过程中实时观察各点温度变化；
4.功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。
可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
5.便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更换TC- wafer。
TC-Wafer校准仪应用功能：
1.半导体制造工艺调校
2.RTP设备的测试、验证
3.TC-Wafer的测试、验证
4.相 关 晶 圆 热 处 理 设 备 的 测 试 、 验 证 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范围：室温~ 1200℃(更高温可定制)
采购中心
Ky开元集团