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FEMTO 德国Diener等离子清洗机

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 迈可诺技术有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号 FEMTO
  • 产地 德国
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2025/7/2 11:43:37
  • 访问次数 2903

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半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。




匀胶机,光刻机,显影机,等离子清洗机,紫外臭氧清洗机,紫外固化箱,压片机,等离子去胶机,刻蚀机,加热板

型号为Femto的德国Diener等离子清洗机可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号为Femto的德国Diener等离子清洗机主要应用于以下领域:

分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

1.基本装备

根据具体组件/选装件,外壳会有所不同

腔室容积:根据具体版本,分为 1.9 - 6

供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

2.真空腔室

圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 100 mm,长 278 mm 或长 600 mm

矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 103 x 285 x 103

矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 103 mm x 103 mm,长 280 mm 或长 600 mm

圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm

圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm

3.装载件:

产品支架(选项:水冷型)石英玻璃舟皿粉末转鼓 散装件转鼓 铝板不锈钢板硼硅玻璃石英玻璃

4.电机:单层或多层RIE

5.控制系统

半自动型

Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

6.压力测量:Pirani电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

7.计时器:数字

8.发生器

频率:    

40 kHz:功率 0 - 100 W0 - 1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 200 W

2.45 GHz:功率 0 - 100 W0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

9.真空泵:不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

10.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。




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