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customized 半导体烘箱

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

产地类别 进口 应用领域 综合

1 产品概述:

   半导体烘箱是一种专门用于半导体芯片、电子元器件等材料进行热处理的设备。它通过高温加热的方式,对半导体芯片进行烘干、固化、烘焙等处理过程,以提高半导体芯片的性能稳定性和可靠性。半导体烘箱采用先进的温度控制系统和加热技术,能够精确控制加热过程中的温度波动范围,确保半导体芯片在热处理过程中不受损害。

2 设备用途:

半导体烘箱的主要用途包括:

  1. 半导体芯片制造:在半导体芯片制造过程中,烘箱用于烘干、固化和烘焙芯片,以提高芯片的稳定性和可靠性。

  2. 电子元器件处理:对于电子元器件,如LED封装、印刷电路板等,半导体烘箱可用于去除水分、气体,保证元器件的质量稳定性和寿命。

  3. 热处理实验:在科研和实验领域,半导体烘箱也常用于烘烤、老化实验,检验电子元气件、仪器仪表等材料在温度环境下的性能指标。

3 设备特点

半导体烘箱的特点主要体现在以下几个方面:

  1. 高精度温度控制:半导体烘箱具备高精度的温度控制系统,能够精确控制加热过程中的温度波动范围,通常误差小于1℃,确保热处理过程的稳定性和可靠性。

  2. 先进加热技术:采用不锈钢加热管等高效加热元件,加热速度快,热效率高,且使用寿命长。

  3. 多种送风方式:部分半导体烘箱采用的水平+垂直送风相结合的强压鼓风循环系统,使温度更加均匀,提高热处理效果。


4
技术参数和特点:

1. 含氧控制:500PPM以内

2. 温度范围:Room temp. +20~500

3. 控温精度:±1.0

4. 温度均匀性:±2.5%

5. 升温时间:RT~ 500℃≤60min




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