JSM-7610FPlus热场发射扫描电子显微镜

JSM-7610FPlus热场发射扫描电子显微镜*的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

JSM-7610FPlus热场发射扫描电子显微镜产品特点

• *的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

  此外还具备利用GENTLEBEAM TM 模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下：

   

  ◇ 半浸没式物 镜

   

  半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以 获得 超高分辨率。

   

   

   

   

   

  ◇ High Power Optics

  High Power Optics 是*的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

   

  浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基 场 发射电子枪（FEG）的探针电流，佳光阑角控制镜（ALC） 在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供 200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统， 从 高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨 率的小物镜光阑而不需要改换。

   

  浸没式肖特基场发射电子枪銃   

   

  浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可 以 有效地 收集从电子枪内发射的电子。

   

  佳光阑角控制镜（ACL）

  光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针 电流范 围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品 的探针电流很 大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束 斑。

   

  即使探针电流很大，束斑直径也很小

   

   

  长时间分析时稳定度也很高

   

   

  ◇ 柔和电子束（GB:GENTLEBEAM TM ）模式

   

  GB 模式的效果

   

  GB 模式在低电压下提高分辨率

  左图 一般模式，右图GB模式