应用领域：
半导体检测；
碳化硅PL缺陷检测；
MicroLED巨量检测；
光学光栅母版；
流式细胞仪；
紫外拉曼光谱；
Skylark 320NX 系列激光器是Skylark公司推出的单频半导体泵浦激光器，该激光器输出可达200mW，而且具有极窄的线宽(<0.5MHz)，提供极高的光谱稳定性(<1pm@8h)和功率稳定性（<2%@8h），同时作为单频激光器，其光谱纯净，噪声也远低于目前市面上的紫外气体激光器，非常适用于紫外的拉曼检测、全息实验及光刻应用；
图2、349NX激光器得到的拉曼峰图
激光器种类 | Skylark NX系列 | HeCd | Ar离子激光器 |
功率 | ★★★★ | ★ | ★★ |
寿命 | ★★★★ | ★★ | ★★ |
体积 | ★ | ★★★★ | ★★ |
成本 | ★ | ★★★ | ★★★★★ |
表1、不同激光器对比表
紫外单频半导体泵浦激光器技术规格 | ||
型号 | 320NX | 349NX |
输出功率 | 200mW | 400mW |
波长 | 320nm | 349nm |
光谱带宽 | ≤0.5MHz | ≤0.5MHz |
空间模式 | TEM00 | TEM00 |
光谱稳定性 | ± 0.2 pm@8h | ± 0.2 pm@8h |
相干长度 | >100m | >100m |
输出功率稳定性 | ≤2%@8h | ≤2%@8h |
输出功率噪声 | ≤0.1% RMS | ≤0.1% RMS |
发散角 | 1.0mrad(衍射极限) | 1.0mrad(衍射极限) |
光斑尺寸 | 0.5~1mm | 0.5~1mm |
光束指向稳定性 | ≤5urad/℃ | ≤5urad/℃ |
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