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广东瑞乐半导体科技有限公司

广东瑞乐半导体科技有限公司(Guangdong Ruile Semi-Tech CO., Ltd.)成立于2016年,是一家专精于半导体温度测量和功能测量产品,集研发、设计、制造、销售及产业链服务为一体的高科技公司,同时是具备优秀的自主创新能力的高价值公司。公司积累了半导体行业温度测量领域多年经验,融入当今工业计算机技术,在专业技术上不断迭代创新,短短几年内,垂直发展成为半导体行业测温设备的专业供应商,成为在该领域具有较强影响力的公司。

公司主要产品有TC Wafer晶圆测温系统、RTD Wafer晶圆测温系统(有线/无线)、On Wafer无线晶圆测温系统、定制型 Wafer晶圆测温系统,Bonding TC Wafer承压晶圆测温系统AMS 无线晶圆校准测量系统ATS 无线晶圆校准测量系统AGS 无线晶圆校准测量系统ALS 无线晶圆水平校准系统AVS 无线晶圆震动测试系统AVLS 无线校准测量晶圆系统AVPS Wafer无线/有线真空压力测量系统VMS 无线晶圆校准测量系统、无线测温晶圆存储充电数据传输FOUP等,为半导体企业提供高精度的晶圆测温解决方案和晶圆校准测量解决方案。

应用场景主要包括:

产品

应用场景

TC Wafer晶圆测温系统

物理气相沉积(PVD)、原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)、退火炉、去胶设备、晶圆临时键合、涂胶显影TRACK设备、加热板、加热盘

RTD Wafer晶圆测温系统

光刻涂胶显影TRACK设备、原子层沉积(ALD)、探针台测温、高精度加热盘

RTD Wafer无线晶圆测温系统

PVDCVD、全自动涂胶显影TRACK设备、不方便有线测温的装置设备

On Wafer无线晶圆测温系统

湿法清洗设备、干法刻蚀设备(工艺专用型号:WLS-EH)

ATS无线晶圆校准测量系统

晶圆顶针、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备

AMS无线晶圆校准测量系统

晶圆传输检测、天车传输检测、AMHS晶圆搬运监测

AGS无线晶圆校准测量系统

薄膜沉积、溅射、刻蚀、设备调试、生产过程监控

VMS无线晶圆校准测量系统

刻蚀、薄膜沉积

ALS无线晶圆水平校准系统

晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针和工艺腔底座的倾斜度测量

AVS无线晶圆震动测试系统

利用AVS三轴加速度对晶圆、晶圆传输盒、晶圆装载与检测集成装置SMIF以及晶圆盒FOUP的运动进行观察和优化,通过适用于真空环境的AVS实时检测系统,实现在不中断机台操作状态下监测晶圆的滑动、滑移、碰撞、刮伤和粗暴搬运情况

AVLS无线校准测量晶圆系统

晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针、工艺腔底座、天车搬运系统、晶圆装载与检测集成装置 SMIF

Bonding TC Wafer 承压晶圆测温系统

晶圆键合、晶圆临时键合、晶圆预键合、晶圆承压状态温度测 量场景

AVPS  Wafer无线/有线真空压力测量系统

在真空腔体内检测wafer在真空状态下进行整体压力监 测,实现wafer背压测量

 

一、半导体晶圆温度测量系统产品

1On Wafer无线晶圆测温系统812寸无线晶圆精确测温;

2RTD Wafer晶圆测温系统212寸(有线/无线)晶圆温度测量精度0.05℃;

3TC Wafer晶圆测温系统212寸晶圆温度测量耐高温;

4定制型 Wafer晶圆测温系统212寸不同形状和材质晶圆温度测量耐高温;

5Bonding TC Wafer 承压晶圆测温系统,212寸承压测温;

二、半导体晶圆校准测量系统产品

1AMS无线晶圆校准测量系统812寸晶圆无线快速校准测量加速度、振动、水平、调平角度、湿度、温度参数;

2ATS无线晶圆校准测量系统812寸晶圆无线快速校准测量晶圆传输位置参数;

3AGS无线晶圆校准测量系统812寸晶圆真空下快速进行非接触间隙测量和平行度调整;

4VMS无线晶圆校准测量系统812寸晶圆现对腔体内晶圆刻蚀或薄膜沉积的厚度参数进行测量;

5ALS无线晶圆水平校准系统812寸晶圆快速测量晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针和工艺腔底座的倾斜度参数;

6AVS 无线晶圆震动测试系统812寸晶圆监测晶圆的滑动、滑移、碰撞、刮伤和粗暴搬运情况;

7AVLS 无线校准测量晶圆系统812寸晶圆快速测量加速度、振动、水平、调平角度等参数

 

三、专业服务

瑞乐半导体不仅提供优秀的产品,还为客户提供售前和售后服务。从产品咨询、选型、购买、安装、使用、维护等各个环节,都有专业的团队进行指导和服务,确保客户能够顺利、高效地使用瑞乐半导体的产品。

四、研发能力

瑞乐半导体的研发团队由多名在半导体设备和测量系统领域有多年工作经验的专家及工程师组成,技术骨干精通半导体设备的工艺,对半导体制程有深入的理解团队致力于研发更高精度、更稳定、更易用的晶圆测温和校准测量系统,以满足半导体制程不断提高的要求。

五、品质管理

瑞乐半导体严格按照ISO9001质量管理体系进行产品设计、生产、销售和服务,确保产品的品质和性能同时建立完善的售后服务体系,迅速、高效解决用户在使用过程中遇到的问题。

六、企业文化

瑞乐半导体秉持“科技创新”的企业精神,坚持“以市场为导向,以技术为核心,以质量为生命,以客户为中心”的经营理念,致力于成为半导体行业测温和校准领域的高科技企业。

七、未来展望

面对半导体行业的新机遇和挑战,广东瑞乐半导体科技有限公司将一如既往地坚持创新驱动,提升核心竞争力,为客户提供更优质的产品和服务,为推动中国半导体行业的发展做出更大的贡献。

 


企业工商信息

公司名称

广东瑞乐半导体科技有限公司

成立日期

2017年07月27日【已认证】

注册资本

人民币500万元 【已认证】

法定代表人

陈雪娟【已认证】

注册号

91440604MA4UT5NT74【已认证】

营业期限

长期【已认证】

登记机关

佛山市南海区市场监督管理局【已认证】

企业类型

私营独资企业【已认证】

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;机械设备租赁;泵及真空设备销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;电子专用材料销售;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;智能仪器仪表制造;智能仪器仪表销售;电工仪器仪表制造;电工仪器仪表销售;电子专用设备制造;电子专用设备销售;软件开发;软件销售;光学仪器制造;光学仪器销售;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;五金产品制造;五金产品批发;五金产品零售;工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;租赁服务(不含许可类租赁服务);专用设备修理;通用设备修理;仪器仪表修理;计算机软硬件及辅助设备零售;计算机软硬件及辅助设备批发;机械零件、零部件加工;机械零件、零部件销售;针纺织品销售;塑料制品销售;金属制品销售;电线、电缆经营;国内贸易代理;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)【已认证】

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